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  • 法律状态
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    • 专利摘要:
    本实用新型公开了一种晶圆烘烤用热板，属于半导体材料技术领域，包括底座和加热板；其特征在于，所述底座的上表面通过多根柱子与加热板的下表面固定连接；在所述加热板上开设有多个竖直方向设置的通孔；至少还包括：位于每个通孔内的立柱；所述立柱的直径小于通孔的内径；与所述立柱下端连接的支架；带动支架在竖直方向运动的传送机构；以及计时器；所述传送机构包括电机，所述支架与竖直方向设置的传送杆固定连接，所述电机的轴承与传送杆相互垂直，且两者之间相互啮合。本实用新型对热板表面的结构进行了改良，方便了晶圆的取放，另外加入了计时装置；使得晶圆取放非常容易，并且烘烤时间可控。
    公开号:CN214338152U
    申请号:CN202022988331.4U
    申请日:2020-12-10
    公开日:2021-10-01
    发明作者:王磊；曲迪；白国人；明辰；陈帅；陈景春；梁娟；姬静远
    申请人:Tianjin Huahuixin Science And Technology Group Co ltd；
    IPC主号:H05B3-20
    专利说明:
    [n0001] 本实用新型属于半导体材料技术领域，具体涉及一种晶圆烘烤用热板。
    [n0002] 众所周知，热板是半导体光刻工艺中非常重要，且不可或缺的一个设备。在光刻工艺中，晶圆的预处理(去除晶圆表面水分)，光刻胶的软烘、硬烘和坚膜都需要使用加热板，且对热板烘烤的温度和时间有严格的要求。对于目前市场上常见的热板，温度比较稳定，但是热板表面平滑的设计，晶圆从热板上取下来的过程是先用镊子将晶圆推到热板的边缘，再夹取下来。这样操作的取样时间不太可控，导致烘烤时间控制不精确；另外会磨损晶圆背面，从而影响双面抛光样品或掩模板样品的质量；镊子推晶圆的过程也有划伤晶圆的风险。
    [n0003] 本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题，提供一种晶圆烘烤用热板，对热板的结构进行了改良，方便了晶圆的取放，另外加入了计时装置；使得晶圆取放非常容易，并且烘烤时间可控。
    [n0004] 本实用新型的目的是提供一种晶圆烘烤用热板，包括底座(7)和加热板(1)；所述底座(7)的上表面通过多根柱子(2)与加热板(1)的下表面固定连接；在所述加热板(1)上开设有多个竖直方向设置的通孔；至少还包括：
    [n0005] 位于每个通孔内的立柱(3-1)；所述立柱(3-1)的直径小于通孔的内径；
    [n0006] 与所述立柱(3-1)下端连接的支架(3)；
    [n0007] 带动支架(3)在竖直方向运动的传送机构；
    [n0008] 以及计时器。
    [n0009] 优选地，所述传送机构包括电机(4)，所述支架(3)与竖直方向设置的传送杆(3-2)固定连接，所述电机(4)的轴承(4-1)与传送杆(3-2)相互垂直，且两者之间相互啮合。
    [n0010] 优选地，还包括控制电机(4)和加热线圈(1-1)工作状态的电路板(5)。
    [n0011] 优选地，所述加热板(1)内嵌有加热线圈(1-1)和热电偶(1-2)。
    [n0012] 优选地，还包括设定和显示温度及烘烤时间的控制器(6)。
    [n0013] 优选地，所述柱子(2)为四根。
    [n0014] 优选地，所述通孔为四个。
    [n0015] 本实用新型具有的优点和积极效果是：
    [n0016] 本申请通过采用上述技术方案，通过对热板的结构进行了改良，方便了晶圆的取放，另外加入了计时装置；使得晶圆取放非常容易，并且烘烤时间可控；具体工作过程为：
    [n0017] 1.通过温度控制器设定烘烤温度，等待热板温度到达设定温度并稳定；2.将晶圆放置在凸出的4个立柱上；3.通过计时器设置好烘烤时间，开始执行；4.计时器将信号传送到电路板，电路板控制电机正向转动，由电机上的轴承通过传送杆带动支架向下移动，从而使得晶圆落到加热板表面，电机停止转动，计时启动；5.计时结束后，电机反向转动，再将支架以及上面的晶圆抬离加热板表面；6.最后用镊子将晶圆取下，烘烤结束。
    [n0018] 图1是本实用新型优选实例的主视图；
    [n0019] 图2是本实用新型优选实例的俯视图；
    [n0020] 其中：1、加热板；1-1、加热线圈；1-2、热电偶；2、柱子；3、支架，3-1、立柱；3-2、传送杆；4、电机；4-1、轴承；5、电路板；6、控制器；7、底座。
    [n0021] 为能进一步了解本实用新型的发明内容、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下：
    [n0022] 在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
    [n0023] 如图1和图2所示，本实用新型的技术方案为：
    [n0024] 一种晶圆烘烤用热板，包括：
    [n0025] 底座7和加热板1；所述底座7的上表面通过多根柱子2与加热板1的下表面固定连接；在所述加热板1上开设有多个竖直方向设置的通孔；
    [n0026] 位于每个通孔内的立柱3-1；所述立柱3-1的直径小于通孔的内径；
    [n0027] 与所述立柱3-1下端连接的支架3；
    [n0028] 带动支架3在竖直方向运动的传送机构；
    [n0029] 控制电机4和加热线圈1-1工作状态的电路板5；
    [n0030] 设定和显示温度及烘烤时间的控制器6；
    [n0031] 以及计时器。
    [n0032] 如图1所示，在该优选实施例中：所述传送机构包括电机4，所述支架3与竖直方向设置的传送杆3-2固定连接，所述电机4的轴承4-1与传送杆3-2相互垂直，且两者之间相互啮合。
    [n0033] 所述加热板1内嵌有加热线圈1-1和热电偶1-2。
    [n0034] 所述柱子2为四根。
    [n0035] 所述通孔为四个。
    [n0036] 上述优选实施例的具体工作过程为：
    [n0037] 1.通过温度控制器设定烘烤温度，再由电路板控制加热线圈工作，等待热板温度到达设定温度并稳定；
    [n0038] 2.将晶圆放置在凸出的4个立柱上；
    [n0039] 3.通过计时器设置好烘烤时间，开始执行；
    [n0040] 4.计时器将信号传送到电路板，电路板控制电机正向转动，由电机上的轴承通过传送杆带动支架向下移动，从而使得晶圆落到加热板表面，电机停止转动，计时启动；
    [n0041] 5.计时结束后，电机反向转动，再将支架以及上面的晶圆抬离加热板表面；
    [n0042] 6.最后用镊子将晶圆取下，烘烤结束。
    [n0043] 以上所述仅是对本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改，等同变化与修饰，均属于本实用新型技术方案的范围内。
    权利要求:
    Claims (7)
    [0001] 1.一种晶圆烘烤用热板，包括底座(7)和加热板(1)；其特征在于，所述底座(7)的上表面通过多根柱子(2)与加热板(1)的下表面固定连接；在所述加热板(1)上开设有多个竖直方向设置的通孔；至少还包括：
    位于每个通孔内的立柱(3-1)；所述立柱(3-1)的直径小于通孔的内径；
    与所述立柱(3-1)下端连接的支架(3)；
    带动支架(3)在竖直方向运动的传送机构；
    以及计时器。
    [0002] 2.根据权利要求1所述的晶圆烘烤用热板，其特征在于，所述传送机构包括电机(4)，所述支架(3)与竖直方向设置的传送杆(3-2)固定连接，所述电机(4)的轴承(4-1)与传送杆(3-2)相互垂直，且两者之间相互啮合。
    [0003] 3.根据权利要求2所述的晶圆烘烤用热板，其特征在于，还包括控制电机(4)和加热线圈(1-1)工作状态的电路板(5)。
    [0004] 4.根据权利要求1所述的晶圆烘烤用热板，其特征在于，所述加热板(1)内嵌有加热线圈(1-1)和热电偶(1-2)。
    [0005] 5.根据权利要求4所述的晶圆烘烤用热板，其特征在于，还包括设定和显示温度及烘烤时间的控制器(6)。
    [0006] 6.根据权利要求1所述的晶圆烘烤用热板，其特征在于，所述柱子(2)为四根。
    [0007] 7.根据权利要求1所述的晶圆烘烤用热板，其特征在于，所述通孔为四个。
    类似技术:
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    同族专利:
    公开号 | 公开日
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    2021-10-01| GR01| Patent grant|
    2021-10-01| GR01| Patent grant|
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    CN202022988331.4U|CN214338152U|2020-12-10|2020-12-10|一种晶圆烘烤用热板|CN202022988331.4U| CN214338152U|2020-12-10|2020-12-10|一种晶圆烘烤用热板|
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